儀器的基本信息：

　　儀器名稱：日立離子濺射鍍膜儀

　　型    號：MC1000

　　制 造 商：日立

　　產    地：日本

　　購買年份：2015年

　　存放地點：公共實驗平臺

　　管理人員：陳 麗

　　聯系電話：027-87700819

　　儀器用途：

　　可滿足多種樣品的鍍膜需求，提高掃描電鏡下的成像質量。

　　儀器的技術參數：

　　1 放電類型：磁控二極管放電類型；

　　2 放電電壓：最大0.4KV，直流可調；

　　3 放電電流：最大40mA，直流可調；

　　4 Au鍍膜速率：15nm/min；

　　5 Au（進口）純度：99.99%；

　　6 氣壓調節控制：7Pa-20Pa；

　　7 樣品室尺寸：Φ100mm，H80mm。

　　2.8最大樣品尺寸：Φ 60 mm，δ 20 mm

　　2.9 機械泵抽速： 135L/min（50Hz）