儀器的技術參數:
1 觀測模式:標準模式、減輕荷電模式;
2 觀測倍率:低真空模式下光學放大倍率15x-60,000x;
3 加速電壓:電子束能量強度可調15KV、5KV、EDX;
4 檢測器:高靈敏度4分割半導體背散射電子檢測器;
5 樣品最大尺寸:Φ70 mm,δ50 mm;移動范圍:±17.5mm(X)×±17.5mm(Y);
6 數據顯示:放大倍率、標尺、電壓、日期、時間、圖像號碼等注釋;
7 分子泵1臺;隔膜泵1臺;
8 圖像最大存儲像素:1280 x 960像素;圖像存儲格式:BMP、TIFF、JPEG。