儀器的基本信息：

　　儀器名稱：離子濺射鍍膜儀

　　型    號：EM ACE200

　　制 造 商：徠卡

　　產    地：奧地利

　　購買年份：2015年

　　存放地點：公共實驗平臺

　　管理人員：陳麗

　　聯系電話：027-87700819

儀器用途：

　　可滿足多種樣品的鍍膜需求，提高掃描電鏡下的成像質量。

儀器的技術參數：

　　1、操作參數：

　　濺射電流0-150mA；濺射時間1-999秒；

　　2、控制系統

　　內置式觸摸屏控制面板；自動鍍膜；

　　3、鍍膜儀功能

　　金屬濺射鍍膜，功能可選方向性或彌散性；帶有氬氣灌洗功能；帶有預濺射功能；

　　4、樣品室

　　內徑：寬140*深145*高150mm；工作距離30-100mm；標準工作臺80mm，可插入18SEM樣品座；

　　5、真空泵

　　二級真空旋轉泵，金屬連接管，帶有油污過濾器；

　　6、系統維護與清潔

　　樣品室艙門、樣品室內壁金屬保護罩、鍍膜擋板、靶材、樣品臺都可簡易拆卸、清潔。